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ALICAT 製品紹介

ALICAT マスフローコントローラー 仕様



<標準タイプ>
MC/MCR
MCD/MCRD
<腐食性対応>
MCS/MCRS
MCDS/MCRDS
<低圧力損失>
MCW/MCRW
MCDW/MCRDW
<真空対応>
MCV/MCRV
対応ガス種 98種類 128種類 98種類 MCV:98種類
MCVS:128種類
精度 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)
<高精度オプション>
±(0.4% Reading +0.2% F.S.) ※1
繰返し精度 ±0.2% F.S.
ゼロシフト
スパンシフト
0.02% F.S./℃/Atm
動作範囲 0.5~100% F.S. 1.0~100% F.S. 0.5~100% F.S. MCV
0.5~100% F.S.
MCVS
1.0~100% F.S.
流量レンジ比 200:1 100:1 200:1 MCV:200:1
MCVS:100:1
最大制御流量 102.4% F.S.
制御速度 100ms
ウォームアップ
時間
1秒以下

校正条件
(STP)
20℃ 1atm または 0℃ 1atm
動作温度 流体温度: -10~ 50℃ / 周囲温度: -10~ 50℃
<高温度オプション>
流体温度: -10~100℃ / 周囲温度: -10~ 80℃
動作湿度 0~100% (結露無きこと)
最大動作圧力 0.7MPa 0.7MPa 0.2MPa 0.7MPa
バルブタイプ ノーマルクローズ シャットオフバルブ
ノーマルクローズ
[バルブリーク]
1×10-9 atm scc/sec
Helium max
IP保護 IP40

表示器 モノクロ液晶 (-D)
<表示器オプション>
カラー液晶 (-TFT)、リモート表示 (-RD/-TFTRD)
デジタル出力 RS-232C (標準) / RS-485 (オプション)
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度
アナログ出力
(標準)
0~5VDC
出力データ:質量流量
アナログ出力
(オプション)
0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか ※2
アナログ第2出力
(オプション)
0~5VDC / 0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC
出力データ:質量流量、体積流量、圧力、温度のいずれか ※2
アナログ入力
(流量設定)
0~5VDC (標準)
<オプション>
0~10VDC / 1~5VDC / 4~20mADC
信号接続 ミニDINコネクタ8ピン
<オプション>
ロック式コネクタ/Dサブコネクタ9ピンまたは15ピン
※ケーブルはオプションとなります >> ケーブル

  MCシリーズ
MCDシリーズ
MCSシリーズ MCWシリーズ MCV/MCVS
シリーズ
電源 12~30VDC 250mA
※4-20mA出力付きは15VDC以上
コネクタまたはジャックより供給
※製品にはAC電源アダプタが付属します。
取付姿勢 自由
接ガス面材質 SUS303,302
Viton(R)
熱硬化型シリコンゴム
ガラス強化ポニフェニレンスルファィド
アルミニウム

黄銅
SUS430FR
シリコン
ガラス
SUS316L,303
FFKM(Kalrez)
SUS430FR
SUS303,302
Viton(R)
シリコーンRTV
ガラス強化ナイロン
アルミニウム
黄銅
SUS430FR
シリコン
ガラス
--- MCV ---
SUS303,302
Viton(R)
熱硬化型シリコンゴム
ガラス強化ポニフェニレンスルファィド
アルミニウム

黄銅
SUS430FR
シリコン
ガラス
--- MCVS ---
SUS316L,303
FFKM(Kalrez)
SUS430FR

  MCRシリーズ
MCRDシリーズ
MCRSシリーズ MCRWシリーズ
電源 24~30VDC 750mA
コネクタまたはジャックより供給
※製品にはAC電源アダプタが付属します。
取付姿勢 バルブを垂直に水平
接ガス面材質 SUS303,302
Viton(R)
熱硬化型シリコンゴム
ガラス強化ポニフェニレンスルファィド
アルミニウム

SUS416
シリコン
ガラス
SUS316L,303
FFKM(Kalrez)
SUS430FR
SUS303,302
Viton(R)
シリコーンRTV
ガラス強化ナイロン
アルミニウム
黄銅
SUS416
ニッケル
シリコン
ガラス

カタログ カタログ カタログ カタログ
※1 高精度オプションは5SCCM以上500SLPM以下の機種に適用します。
※2 ご注文時に出力データをご指定ください。標準は質量流量です。

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